特許
J-GLOBAL ID：200903016578972330
電子線照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-267609
公開番号（公開出願番号）：特開平11-109098
出願日： 1997年10月01日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成でフィラメントが切れたことを瞬時に検知することができる電子線照射装置を提供する。【解決手段】 フィラメント15a1 ,・・・ ,15a15は、加熱用交流電源50に並列に接続される。電流検知抵抗器80は、フィラメント15a1 ,・・・ ,15a15に流れる全電流Iを検知するものである。全波整流回路90は、全電流Iが流れることによって電流検知抵抗器80に生じる交流電圧V1 を全波整流する。微分回路100は、全波整流回路90の出力電圧V2 を微分する。フィラメントが切れると、全電流Iは瞬時に変化し、全波整流回路90の出力電圧V2 には急峻な電圧降下が発生するので、微分回路100からは全電流Iの急峻な変化に起因するパルス電圧が出力される。かかるパルス電圧を検出することにより、フィラメント切れを瞬時に検知することができる。
請求項（抜粋）：
並列に配列された複数のフィラメントが放出する熱電子を加速空間で加速して電子線として取り出し、前記電子線を被照射物に照射する電子線照射装置において、前記複数のフィラメントを加熱する加熱用交流電源と前記複数のフィラメントとの間に接続された、前記複数のフィラメントに流れる全電流を検知するための電流検知抵抗器と、前記全電流が流れることによって前記電流検知抵抗器に生じる交流電圧を全波整流する全波整流手段と、前記全波整流手段の出力電圧を微分して、前記全電流の急峻な変化に起因するパルス電圧を検出する微分手段と、を具備することを特徴とする電子線照射装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G21K 5/00 A
, G21K 5/04 E
