特許
J-GLOBAL ID:200903016579728158
マニピュレータ
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-342425
公開番号(公開出願番号):特開2002-150983
出願日: 2000年11月09日
公開日(公表日): 2002年05月24日
要約:
【要約】【課題】 試料を支持するための溝を有するピックアップ用プローブを備えたマニピュレータを提供する。【解決手段】 先端が曲面状のガラス製プローブを駆動機構19に取り付け、プローブと駆動機構19から成るマニピュレータを集束イオンビームの加工室15に取り付ける。駆動機構19によりプローブ18′をイオンビーム光軸下に持って来る。集束イオンビームにより、プローブ18′の先端に近い部分に、プローブ中心軸Oに垂直な面30Mを有する溝30を作る。この様なプローブ28を集束イオンビーム装置の加工室15に取り付けられたマニピュレータ17のプローブし、マニピュレータ駆動機構19を作動させて、ピックアップ用プローブ28の先端近くに作製した溝30に観察試料26を接触させ、プローブ28と観察試料26との間の静電力により、ピックアップ用プローブ18の溝の内面30Mに観察試料26をくっつける。
請求項(抜粋):
先端部近傍に、その中心軸に対して所定の角度を成す試料付着用の面が形成されたプローブを備えたマニピュレータ。
IPC (3件):
H01J 37/20
, B25J 15/06
, G01N 23/04
FI (3件):
H01J 37/20 A
, B25J 15/06 Z
, G01N 23/04
Fターム (23件):
2G001AA03
, 2G001BA11
, 2G001BA18
, 2G001CA03
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001HA13
, 2G001JA02
, 2G001PA01
, 2G001PA30
, 2G001RA04
, 3C007DS01
, 3C007FS00
, 3C007FT01
, 3C007NS09
, 3F061AA01
, 3F061CA00
, 3F061CB01
, 3F061DB04
, 5C001AA08
, 5C001CC01
, 5C001CC04
, 5C001CC08
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