特許

J-GLOBAL ID：200903016580281310

感光性樹脂組成物

発明者： 山田 浩 ,  吉田 耕造
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
代理人 (1件)： 森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-156522
公開番号（公開出願番号）：特開2002-351060
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】アスペクト比のより高い(例えば、線幅20μmピッチ50μmで、膜厚100μm以上である)レジストパターンを、十分な機械的強度で形成することのできる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】プレポリマー、重合性単量体、および光重合開始剤を含む感光性樹脂に、特定の多孔質フィラーを添加する。このフィラーは、平均粒子径が0.5μm以上10μm以下であり、水銀注入法による測定値で孔数の90%以上の孔直径が10nm以上300nm以下であり、比表面積が50m2/g以上1000m2/g以下である。この多孔質フィラーの含有率は5〜40重量%である。この感光性樹脂組成物は、前記感光性樹脂の屈折率をnD 0 としたときに、下記の(A)式で表される屈折率nD 1 を有する。nD 0 ≦nD 1 ≦nD 0 +0.02....(A)

請求項（抜粋）：

プレポリマー、重合性単量体、および光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物において、平均粒子径が0.5μm以上10μm以下であり、水銀注入法による測定値で孔数の90%以上の孔直径が10nm以上300nm以下であり、比表面積が50m2/g以上1000m2/g以下である多孔質フィラーを、5重量%以上40重量%以下の含有率で含有し、前記多孔質フィラーを含有しない状態での屈折率をnD 0 としたときに、下記の(A)式で表される屈折率nD 1 を有する感光性樹脂組成物。nD 0 ≦nD 1 ≦nD 0 +0.02....(A)

IPC (4件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 512 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/00

FI (4件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 512 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/00 F

Fターム (13件)：

2H025AA03 ,  2H025AA13 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC31 ,  2H025BC63 ,  2H025BC85 ,  2H025BC92 ,  2H025BC93 ,  2H025CA00 ,  2H025CC08 ,  2H025FA17