微細組立て装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-165891
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010564
出願日： 1997年06月23日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】【課題】本発明は、微細な加工対象物に対して任意の角度及び高さから微細作業する。【解決手段】円弧ガイドレール6の先端部に光学式顕微鏡の対物鏡筒8を挿入し、かつ円弧ガイドレール6に沿って摺動アクチュエータ9を介して6自由度のパラレルリンクマニピュレータ10を移動自在に設け、このパラレルリンクマニピュレータ10を操縦部11で操縦する。

請求項（抜粋）：

微細な加工対象物を載置する作業台と、前記加工対象物を拡大観察するための光学式顕微鏡と、前記加工対象物に対して少なくとも組立ての加工処理を行う多自由度のマニピュレータと、このマニピュレータの前記加工対象物に対するアプローチの角度及び高さを3次元空間上で移動させるアプローチ機構と、を具備したことを特徴とする微細組立て装置。

IPC (3件)：

B25J 7/00 , B25J 5/02 , B25J 17/00

FI (3件)：

B25J 7/00 , B25J 5/02 Z , B25J 17/00 K

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