特許

J-GLOBAL ID：200903016592704500

TAB除塵装置

発明者： 山辺 耕治 ,  長谷川 浩司 ,  萩原 弘太 ,  山本 晴美
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-350698
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186345
出願日： 1997年12月19日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 TABテープの除塵を連続的に効率よく且つ確実に行う。【解決手段】 TABテープ用除塵方法として、ブラシと、非接触エアーとを用いてTABテープ用から除塵を行う方法において、TABテープ上の所定の領域上にマスクをした後に除塵を行うこととした。

請求項（抜粋）：

TABテープを所定方向に連続して搬送する手段と、前記搬送中のTABテープの所定の領域を一時的にマスクする手段と、前記マスク手段のTABテープ搬送方向下流側に設けられ、前記TABテープを一時的にマスクした状態で該マスク領域以外に付着した粉塵を除去容易な状態とするための第一の除塵手段であるブラシと、前記ブラシの下流側に設けられ、前記一時的なマスクが除去された後のTABテープを空気作用によって除塵する第二の除塵手段とからなることを特徴とするTABテープ除塵装置。

IPC (3件)：

H01L 21/60 311 ,  B08B 11/00 ,  H05K 3/26

FI (3件)：

H01L 21/60 311 W ,  B08B 11/00 A ,  H05K 3/26 Z