特許

J-GLOBAL ID：200903016598110645

測定対象物との距離等を抽出する光学形状センサ

発明者： 西村 国俊 ,  西沖 暢久
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-235771
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042733
出願日： 2001年08月03日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】 測定対象物体との相対的な移動の必要がなく、瞬時に測定できる光学形状センサを得るにある。【解決手段】 所定の周波数で変調された発光量の可変な光を測定対象物表面に照射する複数の発光光源LED1,LED2と、前記測定対象物表面からの反射光を受ける検出素子PHTRとを備え、前記検出素子PHTRの出力信号の位相情報に、測定対象物表面位置から前記検出素子PHTRに至る距離情報、または距離情報と傾斜情報を含む光学形状センサにおいて、前記検出素子PHTRは前記発光光源LED1,LED2間を結ぶ直線または同直線に平行な直線状で整列した複数の検出素子LS1 で構成される測定対象物との距離等を抽出する光学形状センサ。

請求項（抜粋）：

所定の周波数で変調された発光量の可変な光を測定対象物表面に照射する複数の発光光源と、前記測定対象物表面からの反射光を受ける検出素子とを備え、前記検出素子の出力信号の位相情報に、測定対象物表面位置から前記検出素子に至る距離情報、または距離情報と傾斜情報を含む光学形状センサにおいて、前記検出素子は前記発光光源間を結ぶ直線または同直線に平行な直線状で整列した複数の検出素子で構成されることを特徴とする測定対象物との距離等を抽出する光学形状センサ。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/26

FI (3件)：

G01B 11/00 B ,  G01B 11/26 Z ,  G01B 11/24 A

Fターム (19件)：

2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA31 ,  2F065AA51 ,  2F065BB05 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF13 ,  2F065GG07 ,  2F065GG13 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL10 ,  2F065LL30 ,  2F065NN02 ,  2F065PP25 ,  2F065QQ17 ,  2F065UU02