特許
J-GLOBAL ID：200903016599578730
薄型基板搬送ロボットにおけるロボットハンド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-287116
公開番号（公開出願番号）：特開平11-116047
出願日： 1997年10月20日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：
【要約】【課題】 傷やゴミの付着を極力するなくするようにウェハを支持することのできる搬送ロボットにおけるロボットハンドを提供すること。【解決手段】 ハンド3は、ウェハWの外端部の一部を支持するハンド部30と、ハンド部30を取り付けるハンド支持部40とを有して構成されている。ハンド部30は、ウェハWの外周面に沿って形成される2か所の段状凹部32を有する2個のアーム31・31と、アーム31・31を連結する連結板35とからなり、それぞれの段状凹部32は傾斜面と支持面とを有する上段凹部と、ウェハWが上段凹部に支持される時にウェハWの下面側に空間部を形成する下段凹部とを有している。そして、ハンド3にウェハWを支持する際、ウェハWは上段凹部の傾斜面に案内されながら支持面に支持される。
請求項（抜粋）：
機台に回動可能に配設されるアーム体に接続され、薄型基板を支持して搬送する薄型基板搬送ロボットにおけるロボットハンドであって、前記アーム体に回動可能に配設されるハンド支持部と、前記薄型基板を支持するハンド部と、を有し、前記ハンド部に段状凹部が形成され、前記段状凹部に、前記薄型基板の外端部の一部を支持可能な支持面・前記薄型基板を案内する傾斜面を有する上段凹部と、前記薄型基板の下方に空間部を形成する下段凹部と、が配設されていることを特徴とする薄型基板搬送ロボットにおけるロボットハンド。
IPC (3件)：
B65G 49/07
, B25J 15/08
, H01L 21/68
B65G 49/07 F
, B25J 15/08 P
, H01L 21/68 A
, H01L 21/68 S
