特許

J-GLOBAL ID：200903016603528840

蒸着用マスクの製造方法および蒸着用マスク

発明者： 尾本 貢一 ,  前岡 淳史 ,  市邊 伸夫 ,  外海 正司
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-011786
公開番号（公開出願番号）：特開2004-225077
出願日： 2003年01月21日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：

【課題】厚みの薄い金属薄板材を使用することが可能で、高い加工精度が得られ、作業性も良好であり、設計通りのパターン寸法を精度良く再現することができる蒸着用マスクの製造方法を提供する。【解決手段】金属薄板材20を支持フレーム12の片面側に張りをもたせて接合した後、支持フレームに接合された金属薄板材に多数の微細透孔をフォトエッチングにより所定パターンで加工形成する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基板の表面に所定の材料を蒸着させる際に使用される蒸着用マスクの製造方法であって、 金属薄板材を支持フレームの片面側に張りをもたせて接合する工程と、 前記支持フレームに接合された前記金属薄板材に多数の微細透孔を所定パターンで加工形成する工程と、 を備えたことを特徴とする蒸着用マスクの製造方法。

IPC (3件)：

C23C14/04 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (3件)：

C23C14/04 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (9件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029HA03