現像液及びそれを用いた着色画像形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大西浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-236377
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181690
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】水性着色レジスト液を用いて着色画像を形成する際に、鮮明な画像を形成し得る現像液及び着色画像形成方法を提供する。【構成】 2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート成分を70重量%以上含有する水溶性共重合樹脂と、微粉状の顔料と、水溶性ジアゾ樹脂とからなる水性着色レジスト液を用いて着色画像を形成する際に、現像液として(a)炭素数2〜6の常温で固体のカルボン酸と、HLB8〜12のポリオキシエチレンアルキルアリールエーテルと、カルビトール類との水溶液、又は(b)上記カルボン酸と、高級アルコールサルフェートのアンモニウム塩又は高級アルコールエトキシサルフェートのアンモニウム塩との水溶液、又は(c)上記カルボン酸と、アルキルベンゼンスルホン酸のアンモニウム塩との水溶液、又は上記(a)、(b)、(c)のそれぞれにアセチレングリコール類を溶解させた現像液を用いる。

請求項（抜粋）：

2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート成分を70重量%以上含有する水溶性共重合樹脂と、微粉状の顔料と、水溶性ジアゾ樹脂とからなる水性着色レジスト液を用いて着色画像を形成する際に使用する現像液であって、下記(a)、(b)及び(c)からなる群より選ばれる少なくとも一種の水溶液からなることを特徴とする現像液。(a)炭素数2〜6の常温で固体のカルボン酸と、HLB8〜12のポリオキシエチレンアルキルアリールエーテルと、カルビトール類との水溶液。(b)炭素数2〜6の常温で固体のカルボン酸と、高級アルコールサルフェートのアンモニウム塩又は高級アルコールエトキシサルフェートのアンモニウム塩との水溶液。(c)炭素数2〜6の常温で固体のカルボン酸と、アルキルベンゼンスルホン酸のアンモニウム塩との水溶液。

IPC (7件)：

G03F 7/32 , G02B 5/20 101 , G03F 7/004 501 , G03F 7/021 501 , G03F 7/027 502 , G03F 7/30 , H01L 21/027

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