特許
J-GLOBAL ID：200903016607893720
セラミックス多層基板の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-276336
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132664
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 乾燥時における積層体の反り、剥離または膨れ等を防止し、大型の多層基板(一辺の長さLが60mm〜300mm,厚さTが0.1mm〜20mm)を確実に製造すること。【構成】 グリーンシート積層体4を乾燥する際の昇温速度を0.1°C/分〜10°C/分の範囲内に設定する。この昇温速度の範囲内において、グリーンシート積層体4の一辺の長さL及び厚さTが大きいほど昇温速度を遅く設定する。乾燥後にグリーンシート積層体4に焼成を施す。
請求項（抜粋）：
一辺の長さ(L)が60mm〜300mmで、厚さ(T)が0.1mm〜20mmであるグリーンシート積層体(4)を乾燥させた後、その積層体(4)に焼成を施すセラミックス多層基板の製造方法であって、乾燥時の昇温速度を0.1°C/分〜10°C/分の範囲内に設定し、かつ前記昇温速度の範囲内において、前記グリーンシート積層体(4)の一辺の長さ(L)及び厚さ(T)が大きいほど昇温速度を遅く設定することを特徴とするセラミックス多層基板の製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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