特許
J-GLOBAL ID：200903016608501788
工程解析装置、工程解析方法および工程解析プログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
世良 和信
, 和久田 純一
, 中村 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-049807
公開番号（公開出願番号）：特開2009-064407
出願日： 2008年02月29日
公開日（公表日）： 2009年03月26日
要約：
【課題】製造ライン内の装置間の関係を容易にモデル化することのできる技術を提供する。【解決手段】本発明に係る工程解析装置は、複数の製造装置と制御装置との間でやりとりされる複数の信号を取得し、信号の発生順序(先後関係)と信号間の相関に基づいて、複数の信号の因果構造を作成する。より具体的には、各信号について、その信号よりも発生順序が前の信号のうち、該信号との相関が最も高い信号を、該信号の原因として因果構造を作成することが好適である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
略周期的に入出力された複数の信号の関係を解析する工程解析装置であって、
前記複数の信号を取得する信号取得手段と、
前記信号取得手段によって取得された信号から特徴量を算出する特徴量算出手段と、
前記信号取得手段によって取得された信号の発生順序を抽出する発生順序抽出手段と、
特徴量間の相関と信号の発生順序とに基づいて、信号間の因果構造を作成する因果構造作成手段と、
を備える工程解析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G05B19/418 Z
, G06F17/60 106
3C100AA29
, 3C100AA57
, 3C100AA58
, 3C100BB12
, 3C100CC02
