特許

J-GLOBAL ID：200903016620340528

PZT素子アレイ及びインクジェット記録ヘッドの製造方法

発明者： 宮口 耀一郎
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-251288
公開番号（公開出願番号）：特開2001-071491
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】低温で焼成できる基板等を使用するとともにその変形を防止してモノモルフ駆動モードで駆動することができるPZT素子アレイを製造する。【解決手段】MgOの多結晶体を添加したSrTiO3若しくはBaTiO3の複合酸化物あるいはSrTiO3/BaTiO3の混合微結晶体にMgOを添加した複合共晶酸化物又はSrTiO3やBaTiO3の単体を焼成した基板2の表面に一定ピッチで溝7を形成し、複数の溝7を有する基板2の表面に、基板2と同じ材料の薄膜3を形成し、薄膜3の溝の上にPZT素子5を焼成する。

請求項（抜粋）：

MgOの多結晶体を添加したSrTiO3若しくはBaTiO3の複合酸化物あるいはSrTiO3/BaTiO3の混合微結晶体にMgOを添加した複合共晶酸化物又はSrTiO3やBaTiO3の単体を焼成した基板にPZT素子を接合したことを特徴とするPZT素子アレイの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (12件)：

2C057AF03 ,  2C057AF40 ,  2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP25 ,  2C057BA14