特許

J-GLOBAL ID：200903016622369310

結晶化ガラス

発明者： 西井 由和
出願人/特許権者： ホーヤ株式会社
代理人 (1件)： 中村 静男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-158544
公開番号（公開出願番号）：特開平5-009039
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 第1の目的は、陽極接合によりシリコン基体と接合でき、シリコン基体との熱膨張係数が近似し、破壊強度も実用上十分に高い結晶化ガラスを提供することにある。第2の目的は、上記第1の目的を達成する結晶化ガラスからなるシリコン基体用台座を提供することにある。第3の目的は、上記第2の目的を達成するシリコン基体用台座を備えた半導体圧力センサを提供することにある。【構成】 第1の目的を達成する結晶化ガラスは、重量%表示で、50〜62%のSiO2 、 22〜30%のAl2 O3 、 2〜4.5%のLi2 O、 2〜7%のP2 O5 、 0.5〜5%のMgO、 1〜6%のNa2 O、 1〜5.5%のTiO2 、 0〜2%のZnO、 0〜3%のZrO2 を含有し、かつβ-石英固溶体結晶を析出結晶として含有することを特徴とする。第2の目的を達成するシリコン基体用台座は、上記結晶化ガラスからなることを特徴とする。第3の目的を達成する半導体圧力センサは、上記シリコン基体用台座を備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

重量%表示で、50〜62%のSiO2 、 22〜30%のAl2 O3 、 2〜4.5%のLi2 O、 2〜7%のP2 O5 、 0.5〜5%のMgO、 1〜6%のNa2 O、 1〜5.5%のTiO2 、 0〜2%のZnO、 0〜3%のZrO2 を含有し、かつβ-石英固溶体結晶を析出結晶として含有することを特徴とする結晶化ガラス。

IPC (4件)：

C03C 10/04 ,  C03C 3/097 ,  C03C 3/105 ,  G01L 9/04 101

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平3-023237
  
• 特開平2-252637
  
• 特開平3-037135
  
• 特開平2-148713
  
• 特開平3-050141