感放射線性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-150080
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330953
出願日： 2000年05月22日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】広いプロセスマージンと保存安定性を併せ持ち、かつ耐熱性、耐溶剤性、透明性に優れる層間絶縁膜、およびマイクロレンズを形成できる感放射線性樹脂組成物、ならびにそれから得られる層間絶縁膜、マイクロレンズを提供すること。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)オキセタニル基を含有する特定の単量体、(a3)前記(a1)(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物との共重合体と、[B]1,2-キノンジアジド化合物を含有する。層間絶縁膜およびマイクロレンズは、上記組成物より得られる。

請求項（抜粋）：

[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)一般式(I)または一般式(II)で示される化合物、【化1】[ここで、Rは水素原子または炭素数1〜4のアルキル基であり、R1は水素原子または炭素数1〜4のアルキル基であり、R2、R3、R4およびR5はそれぞれ独立に水素原子、フッ素原子、炭素数1〜4のアルキル基、フェニル基、または炭素数1〜4のパーフロロアルキル基であり、そしてnは1〜6の整数である。]で示される単量体、並びに(a3)前記(a1)および(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物を共重合して得られる共重合体と、[B]1,2-キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (17件)：

G03F 7/033 , C08F220/00 , C08F220/04 , C08F220/26 , C08F222/02 , C08F222/04 , C08K 5/28 , C08L 33/00 , C08L 35/00 , C09D 4/02 , C09D 5/00 , C09D133/04 , C09D201/06 , G02B 1/04 , G02B 3/00 , G03F 7/022 , C09D 5/25

FI (17件)：

G03F 7/033 , C08F220/00 , C08F220/04 , C08F220/26 , C08F222/02 , C08F222/04 , C08K 5/28 , C08L 33/00 , C08L 35/00 , C09D 4/02 , C09D 5/00 Z , C09D133/04 , C09D201/06 , G02B 1/04 , G02B 3/00 A , G03F 7/022 , C09D 5/25

Fターム (114件)：

2H025AA06 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AA20 , 2H025AB14 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB08 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB43 , 2H025CB51 , 2H025CC17 , 2H025FA29 , 4J002BC041 , 4J002BG011 , 4J002BG041 , 4J002BG051 , 4J002BG061 , 4J002BG071 , 4J002BG101 , 4J002BG131 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002BL011 , 4J002BL021 , 4J002CC185 , 4J002CD005 , 4J002CD191 , 4J002EQ036 , 4J002EV246 , 4J002FD200 , 4J002FD310 , 4J002GH01 , 4J002GP01 , 4J002GQ01 , 4J038CA021 , 4J038CC001 , 4J038CD001 , 4J038CE051 , 4J038CF021 , 4J038CG001 , 4J038CG141 , 4J038CH111 , 4J038CM021 , 4J038GA02 , 4J038GA06 , 4J038JB15 , 4J038NA04 , 4J038NA12 , 4J038NA14 , 4J038NA21 , 4J038PA17 , 4J038PB08 , 4J038PB09 , 4J038PB11 , 4J100AB02R , 4J100AB03R , 4J100AB04R , 4J100AB07R , 4J100AC03R , 4J100AC04R , 4J100AG04R , 4J100AJ01P , 4J100AJ02P , 4J100AJ08P , 4J100AJ09P , 4J100AK31P , 4J100AK32P , 4J100AL03R , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL09R , 4J100AL10R , 4J100AL34R , 4J100AL44R , 4J100AM02R , 4J100AM15R , 4J100AM47R , 4J100AM48R , 4J100AS01R , 4J100AS02R , 4J100AS03R , 4J100AS15R , 4J100BA03R , 4J100BA04R , 4J100BA05R , 4J100BA06R , 4J100BA15R , 4J100BA16P , 4J100BA16R , 4J100BA20R , 4J100BA21P , 4J100BB07Q , 4J100BB18Q , 4J100BC04R , 4J100BC12R , 4J100BC28R , 4J100BC43P , 4J100BC43Q , 4J100BC43R , 4J100BC53Q , 4J100BC54R , 4J100BC55R , 4J100BC66R , 4J100CA05 , 4J100DA01 , 4J100DA04 , 4J100JA01 , 4J100JA33 , 4J100JA44

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