特許

J-GLOBAL ID：200903016635105207

寸法制御粒子を含む流体流の形成方法

発明者： 木村 昌夫 ,  鈴木 逸子 ,  樽谷 浩平
出願人/特許権者： レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-121505
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326154
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】母流体としてターゲット流体を実際に近い条件で使用するのに最適な、寸法制御粒子を含む流体流の形成方法を提供する。【解決手段】種々の寸法を有するSiO2 原料粒子をN2 キャリアガス中に混入分散させ、分級器22で分級して寸法が制御されたSiO2 粒子を得る。キャリアガスを流しながら、寸法制御粒子を多孔部材27により静電気力的に捕集する。寸法制御粒子を捕集した多孔部材27にHCl母流体を流しながら、多孔部材27に超音波振動を付与する。これにより、寸法制御粒子を多孔部材27から解放し、HCl母流体中に混入分散させる。

請求項（抜粋）：

母流体に対して不活性な材料からなり且つ種々の寸法を有する原料粒子を、前記原料粒子に対して不活性で且つ高純度のキャリアガス中に混入分散させる予分散工程と、乾式の分級器を通過するように、前記原料粒子を含む前記キャリアガスを流すことにより、前記原料粒子を分級して寸法制御粒子を得る分級工程と、前記母流体に対して不活性な材料からなり且つ静電気力的に粒子を捕集するための多孔部材を通過するように、前記寸法制御粒子を含む前記キャリアガスを流すことにより、前記多孔部材上に前記寸法制御粒子を捕集する捕集工程と、前記寸法制御粒子を捕集した多孔部材を通過するように、前記母流体を流すと共に、前記多孔部材に超音波振動を付与することにより、前記寸法制御粒子を前記多孔部材から解放し、前記母流体中に混入分散させる主分散工程と、を具備することを特徴とする寸法制御粒子を含む流体流の形成方法。

IPC (3件)：

G01N 1/00 102 ,  G01N 1/00 ,  G01N 15/00

FI (3件)：

G01N 1/00 102 A ,  G01N 1/00 102 D ,  G01N 15/00 C