特許
J-GLOBAL ID：200903016647143899
投影露光装置および投影露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-235914
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066122
出願日： 1993年08月30日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 被露光基板上の照度むらを試行錯誤的にではなく定式的に、個人差無く確実に低減することができ、露光強度の場所に対する均一性を向上させる。【構成】 第2照明光学系14と原図基板15との間に透過形液晶マトリックス板1を配置する。また、被露光基板18上の照度むらに対応して、前記透過形液晶マトリックス板1の各液晶セルの「明」と「暗」を決めるための演算を実行し、指令を付与するための液晶明暗制御系2を配設する。透過形液晶マトリックス板1の各液晶セルは、「明」と「暗」いずれか2つの状態しか取り得ないが、原図基板15の各点は、それぞれ前記透過形液晶マトリックス板1の多くの液晶セルを透過してくる光によって重畳照明され、逆に、透過形液晶マトリックス板1の「暗」液晶セルは原図基板15上の広い領域に連続的に影を投げ掛ける。したがって、各液晶セルの「明」と「暗」を適切に設定すれば、18上の照度むらに対応して任意に照度分布を改善できる。
請求項（抜粋）：
透過性基板上に遮光体、ハーフトーン遮光体、位相シフタまたはそれらの任意の組合わせにより形成したパタンを有する原図基板を用い、投影光学系を介して被露光基板上に前記原図基板上のパタンの光像を形成し、前記被露光基板上に付した感光性材料を露光する投影露光装置において、2次光源と前記原図基板との間に透過形液晶マトリックス板を配置すると共に、この透過形液晶マトリックス板を構成する各液晶セルの「明」,「暗」を被露光基板上の照度むらに対応して決定する液晶明暗制御系を配設したことを特徴とする投影露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G02F 1/13 505
, G09F 9/00 315
, G09G 5/00
