特許

J-GLOBAL ID：200903016647328627

基体温度測定方法

発明者： 岸本 里志 ,  島村 英昭 ,  小林 秀 ,  米岡 雄二
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-203408
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048051
出願日： 1996年08月01日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】ウェハ表面に反射して導光路に入射する迷光が放射温度計へ到達することを防ぐ。【解決手段】ウェハ1と放射温度計7間の導光路に内壁が黒体で構成された部分5を設け、迷光を黒体部5に吸収させる。

請求項（抜粋）：

測定波長の光を全反射する内壁によって、基体表面からの赤外線を放射温度計に伝える導光路を備え、前記内壁の一部を反射率が大略ゼロの黒体で構成することによって前記導光路の開口数を制限することを特徴とする基体温度測定方法。