特許

J-GLOBAL ID：200903016648957318

真空排気システム

発明者： 杉浦 哲郎 ,  野村 典彦 ,  野路 伸治
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074620
公開番号（公開出願番号）：特開平10-252651
出願日： 1997年03月11日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】 PFCガスなどの大気への放出を防止するとともに、パージ用ガスを節約して、環境保全、運転の信頼性と安全性の向上、更には設備や運転コストの低減を図る。【解決手段】 真空チャンバ10と、該真空チャンバを排気する真空ポンプ14と、該真空ポンプの下流側に配置した排ガス処理装置16と、該排ガス処理装置のさらに下流側に配置されて該排ガス処理装置により処理できなかったガスを貯蔵するガス貯蔵部18とを有する。

請求項（抜粋）：

真空チャンバと、該真空チャンバを排気する真空ポンプと、該真空ポンプの下流側に配置した排ガス処理装置と、該排ガス処理装置のさらに下流側に配置されて該排ガス処理装置により処理できなかったガスを貯蔵するガス貯蔵部とを有することを特徴とする真空排気システム。

IPC (7件)：

F04B 37/16 ,  B01J 3/02 ,  C23C 16/44 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/02

FI (8件)：

F04B 37/16 C ,  F04B 37/16 E ,  B01J 3/02 M ,  C23C 16/44 D ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-013878
  
• 特開平4-209987