特許
J-GLOBAL ID：200903016649316200
高さ測定方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-232529
公開番号（公開出願番号）：特開平11-072308
出願日： 1997年08月28日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】本発明は、Z移動ステップを小さくしても正確に高さ情報を得る。【解決手段】対物レンズ17と試料19との相対位置を光軸方向に離散的にZ方向移動制御回路22により変化させ、このときのピンホール20を通して光検出器21により検出される光強度の変化における変曲点すなわち最大値又は最小値を検出し、これらの変曲点となる対物レンズ17と試料19との相対位置に基づいて試料19の高さ情報を求める。
請求項（抜粋）：
光を光学レンズを通して試料に照射し、この試料から反射された光を前記光学レンズの集光位置と共役な位置に配置された微小開口を通して光強度を検出する工程と、前記光学レンズと前記試料との相対位置を光軸方向に離散的に変化させたときの前記光強度の変化における変曲点となる前記光学レンズと前記試料との相対位置を高さ情報として取得する工程と、を有することを特徴とする高さ測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/02 Z
, G02B 21/00
