特許

J-GLOBAL ID：200903016654844762

格子照射型フリンジスキャンモアレ装置

発明者： 植木 伸明
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-092639
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294426
出願日： 2002年03月28日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【目的】 格子照射型フリンジスキャンモアレ装置において、モアレ格子を斜めの方向に一定速度で移動中にインテグラルバケット法を用いることにより、モアレ格子自体の不要な像によるノイズ成分を除去して、高精度なモアレ縞画像解析を行なえるようにする。【解決手段】 格子照射型フリンジスキャンモアレ装置1は、モアレ格子20を斜めのT方向に一定速度で移動させる斜方向移動手段40を備えており、この斜方向移動手段40によりモアレ格子20を一定速度で移動中に、インテグラルバケット法を用いて所定の撮像タイミングで、複数のモアレ縞画像を撮像する。

請求項（抜粋）：

光源と、該光源と被検面との間に配置されたモアレ格子と、前記光源からの光を前記モアレ格子に照射して前記被検面に投影された該モアレ格子の影と該モアレ格子とにより生じるモアレ縞を撮像する撮像手段とを備えた格子照射型のモアレ装置において、前記モアレ格子の各格子線を含むモアレ格子面と前記光源との角度関係は維持しつつ、該モアレ格子面に対して所定角度傾斜した所定方向に、該モアレ格子を一定速度で移動させる斜方向移動手段を備えてなり、該斜方向移動手段により前記モアレ格子を前記一定速度で移動中に、前記被検面の形状を解析するための複数のモアレ縞画像を、インテグラルバケット法を用いて前記撮像手段により所定の撮像タイミングで撮像することを特徴とする格子照射型フリンジスキャンモアレ装置。

IPC (2件)：

G01B 11/25 ,  G01B 11/24

FI (2件)：

G01B 11/24 E ,  G01B 11/24 K

Fターム (22件)：

2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065CC21 ,  2F065DD04 ,  2F065EE00 ,  2F065FF08 ,  2F065GG02 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL06 ,  2F065LL41 ,  2F065NN11 ,  2F065PP01 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ42