特許
J-GLOBAL ID：200903016658608893
ワークの処理方法および処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-008030
公開番号（公開出願番号）：特開平8-203867
出願日： 1995年01月23日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】 複数のワークを順次処理室に搬入して順次処理する場合における処理の不具合を迅速に検出し得るようにする。【構成】 真空容器本体1と石英ベルジャ2により内部に処理室3が形成されており、この処理室3内で多数枚のワークWに対して順次エッチング処理が行われる。一度のワークの処理に用する処理時間の上限値はタイマにより設定され、処理室3内のワークの処理状況はフォトセンサ11により検出される。このフォトセンサ11によりワークの処理終了が検出されるまでの処理時間はメモリに記憶される。ワークを処理するのに要した処理時間を基準処理時間と比較して処理時間と基準処理時間との時間差が設定値を超えた場合には処理時間が上限値以内であっても次のワークの処理を停止させる。
請求項（抜粋）：
処理室内においてワークを連続的に処理するワークの処理方法であって、前記処理室内でのワークの処理状況をセンサにより観察し、前記センサにより処理終了が検出されるまでのワークの処理に要した処理時間と基準処理時間とを比較してその時間差が設定値を超えた場合には次のワークの処理を停止するようにしたことを特徴とするワークの処理方法。
IPC (2件)：
H01L 21/3065
, H01L 21/02
