特許

J-GLOBAL ID：200903016660371140

カセットチャンバ

発明者： 浅川 輝雄 ,  佐伯 弘明 ,  飯塚 洋二 ,  松島 圭一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-231729
公開番号（公開出願番号）：特開平10-261693
出願日： 1997年08月13日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 上下方向の駆動力を利用してカセット支持台を90度反転させると同時に水平方向への所定の角度の回転も行なうようにする。【解決手段】 カセットCの底面を受ける底面支持部44Aと背面を受ける背面支持部44Bを有するカセット支持台44と、背面支持部を展開自在に支持すると共にメインシャフト40に直結された補助台座42と、メインシャフトを回転自在に支持すると共に底面支持部を載置するために昇降可能になされた昇降台座32と、昇降台座が昇降することに応じて前記メインシャフトを回転させて補助台座とカセット支持台を略90度回転させる回転機構54と、昇降台座を降下させて補助台座とカセット支持台を略90度回転させた状態において背面支持部を支持してこれを水平に保持するサポート部材58とを備える。

請求項（抜粋）：

複数の被処理体を収納可能なカセットを収容して被処理体を搬入搬出可能とするカセットチャンバにおいて、前記カセットの底面を受ける底面支持部と背面を受ける背面支持部を有するカセット支持台と、前記背面支持部を展開自在に支持すると共にメインシャフトに直結された補助台座と、前記メインシャフトを回転自在に支持すると共に前記底面支持部を載置するために昇降可能になされた昇降台座と、前記昇降台座が昇降することに応じて前記メインシャフトを回転させて前記補助台座と前記カセット支持台を略90度回転させる回転機構と、前記昇降台座を降下させて前記補助台座と前記カセット支持台を略90度回転させた状態において前記背面支持部を支持してこれを水平に保持するサポート部材とを備えたことを特徴とするカセットチャンバ。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/07

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/07 D ,  B65G 49/07 L