特許
J-GLOBAL ID：200903016661304005
石英ガラス合成面温度の測定方法、装置及び石英ガラスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-264202
公開番号（公開出願番号）：特開2000-095529
出願日： 1998年09月18日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：
【要約】【課題】 合成中の石英ガラスの合成面温度を正確に測定することができる方法、装置及びこれにより得られた合成面温度をもとに屈折率均質性の優れた合成石英ガラスを生産することが可能な石英ガラスの製造方法を提供する。【解決手段】 一又は複数の熱電対3の測温部をバーナー34と対向する模擬ターゲット2の外表面22aに位置するように配設し、バーナー34から珪素化合物ガス、酸素含有ガス及び水素含有ガスを火炎とともに噴出させて外表面22a上に石英ガラスを合成させながら外表面22aの温度を検出し合成面Sの温度を得る。また、このようにして得られた合成面Sの温度分布と石英ガラスの屈折率分布との対応関係データを得て所望の屈折率分布が得られる合成面Sの温度分布を求め、合成中の石英ガラスの合成面の温度分布が上記所望の屈折率分布が得られる合成面の温度分布とほぼ一致するように合成条件を調整して石英ガラスを合成する。
請求項（抜粋）：
炉の上部に設置したバーナーより前記炉内の空間に配設されたターゲットに向けて珪素化合物ガス、酸素含有ガス及び水素含有ガスを火炎とともに噴出させて前記ターゲットの上に石英ガラスを合成させるときの合成面温度を測定する方法であって、前記ターゲットに代えて模擬ターゲットを設置するとともに前記バーナーと対向する前記模擬ターゲットの外表面に測温部が位置するように温度計を配設し、前記バーナーから珪素化合物ガス、酸素含有ガス及び水素含有ガスを火炎とともに噴出させて前記外表面上に石英ガラスを合成させながら前記温度計により前記外表面の温度を検出して前記合成面の温度を得ることを特徴とする石英ガラス合成面温度の測定方法。
IPC (5件)：
C03B 8/04
, C03B 20/00
, G01K 1/14
, G01K 7/02
, G05B 17/00
C03B 8/04 Z
, C03B 20/00 Z
, G01K 1/14 L
, G01K 7/02 E
, G05B 17/00
2F056CL13
, 4G014AH15
, 5H004GB02
, 5H004HA01
, 5H004HB01
, 5H004JB08
, 5H004JB29
, 5H004JB30
