特許
J-GLOBAL ID:200903016664623934

光記録媒体成形用スタンパーの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 丸島 儀一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-249420
公開番号(公開出願番号):特開平7-105577
出願日: 1993年10月05日
公開日(公表日): 1995年04月21日
要約:
【要約】【目的】 スタンパーの電鋳工程や研磨工程に於けるマスタースタンパーと導電化膜の剥離を防止し高品質なスタンパーを得る。【構成】 表面に光記録媒体用のプリフォーマットパターンを有するマスタースタンパーの表面に導電化膜を形成した後該導電化膜上に電鋳膜を形成し次いで該導電化膜と該電鋳膜とを一体として該マスタースタンパーから剥離することによって光記録媒体成形用のスタンパーを製造する方法において、該マスタースタンパーとして、該マスタースタンパー表面のプリフォーマット形成領域以外の領域に導電化膜との密着性を向上させる表面処理を施したマスタースタンパーを用いることを特徴とする。
請求項(抜粋):
表面に光記録媒体用のプリフォーマットに対応するプリフォーマットパターンを有するマスタースタンパーの表面に導電化膜を形成した後該導電化膜上に電鋳膜を形成し次いで該導電化膜と該電鋳膜とを一体として該マスタースタンパーから剥離することによって光記録媒体成形用のスタンパーを製造する方法において、該マスタースタンパーとして、該マスタースタンパー表面のプリフォーマット形成領域以外の領域に導電化膜との密着性を向上させる表面処理を施したマスタースタンパーを用いることを特徴とする光記録媒体成形用スタンパーの製造方法。
IPC (3件):
G11B 7/26 511 ,  C23C 14/16 ,  C25D 1/00 321

前のページに戻る