特許
J-GLOBAL ID:200903016665618497
高熱伝導性炭化珪素質焼結体
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-189704
公開番号(公開出願番号):特開平7-041366
出願日: 1993年07月30日
公開日(公表日): 1995年02月10日
要約:
【要約】【構成】6H型炭化珪素を主成分とし、少なくとも遊離炭素および硼素を含み、炭化珪素結晶の格子定数がa軸で3.0802Å以上、c軸で15.105Å以上で、かつ焼結体密度が2.8g/cm3 以上、熱伝導率が130W/m・k以上の炭化珪素質焼結体を得る。【効果】格別な助剤や原料を用いることなく、従来から一般に行われている手法に基づき、焼結体の格子定数を特定の範囲に制御することにより高熱伝導化を達成することができる。
請求項(抜粋):
6H型炭化珪素を主成分とし、少なくとも遊離炭素および硼素を含み、炭化珪素結晶の格子定数がa軸で3.0802Å以上、c軸で15.105Å以上で、かつ焼結体密度が2.8g/cm3 以上、熱伝導率が130W/m・k以上であることを特徴とする高熱伝導性炭化珪素質焼結体。
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開昭62-153167
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特開昭62-113764
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特開平2-199064
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