特許
J-GLOBAL ID：200903016666174401
放射線変換素子とその製造方法および放射線撮像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-196350
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043356
出願日： 1995年08月01日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【目的】 高解像度・高感度の放射線撮像装置を高速かつ容易に製造することができる優れた放射線変換素子とその製造方法及び放射線撮像装置を提供する。【構成】 光を映像信号に変換する光検出パネル2の画素3を少なくとも1つ含む大きさに、X線、放射線の光変換素子のシンチレータ1を格子状に分割し、その分割面と光検出パネルを相対させ、素子の分割領域内に光検出パネルの画素を少なくとも一つ含むように接着し、格子状の加工は素子上にパターニングされた保護層を形成し、粒子または粒子線を照射し、保護層間の露出する素子部分を除去するか、素子上に収束した粒子線を相対的に移動照射するか、粒子線を線状のマスクパターンを通過させ、素子上にマスクパターンを結像させることで、格子状の分離層を設けてクロストークを防ぎ、広い面積の高速加工を可能とする。
請求項（抜粋）：
X線または放射線を光に変換する素子と、前記素子により変換された光を映像信号に変換する光検出パネルを有し、前記光検出パネルの画素を少なくとも1つ含む大きさに前記素子を格子状に分割し、前記素子の分割面と前記光検出パネルとを相対させ、前記素子の分割領域内に光検出パネルの画素を少なくとも一つ含むように両者を組み立てられたことを特徴とする放射線撮像装置。
IPC (5件)：
G01T 1/20
, B23K 26/00
, C09K 11/00
, H01L 31/09
, H04N 5/32
G01T 1/20 B
, B23K 26/00 G
, C09K 11/00 E
, H04N 5/32
, H01L 31/00 A
