特許
J-GLOBAL ID：200903016666575104
広範囲圧力計
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-102239
公開番号（公開出願番号）：特開平10-293077
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 1つの圧力計で常圧から10-2Pa程度までの広範囲の圧力を測定ることができる計器を提供する。【解決手段】 シリコンプロセスによって作製された微小な振動子1を、励振子4により共振周波数付近で振動させておき、振動子1の周囲の圧力変化に起因する振動子の振動状態の変化を圧電または電歪特性を有する検出子5で検出する。振動子の振動状態は、周囲の圧力変化に応じて、振動周波数の位相の変化、振幅の変化または機械的品質係数の変化として測定されるので、これらの検出値から逆に振動子周辺の圧力値(真空度)を知ることができる。又、振動子の振動状態の変化を検出する手段として、光てこ及び光波干渉計が使用される。
請求項（抜粋）：
振動子と、前記振動子にその共振周波数付近の振動を与えるための励振子と、前記振動子の周囲の圧力変化による前記振動子の振動状態の変化を検出するための圧電または電歪特性を有する検出子と、を備えたことを特徴とする広範囲圧力計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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