特許

J-GLOBAL ID：200903016669280687

ワイヤソー

発明者： 永塚 真史
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019880
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218501
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】メンテナンスが容易なワイヤソーを提供する。【解決手段】グルーブローラ18A〜18Cの両端を一対のスピンドルブラケット62、62で仕切る。これにより、ワイヤ列に供給したスラリがスピンドルブラケット62、62の内側にのみ飛散するようになる。また、スピンドルブラケット62、62の間に配線又は配管用のダクト74、74を設ける。これにより、配管、配線には直接スラリが掛からなくなり、メンテナンスが容易になる。

請求項（抜粋）：

ワイヤを複数本のグルーブローラに巻き掛けて形成したワイヤ列を走行させ、該ワイヤ列に加工液を供給しながらインゴットを押し当てることにより、該インゴットを複数枚のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記複数本のグルーブローラの下方部に設けられ、前記ワイヤ列に供給された加工液を回収するオイルパンと、前記複数本のグルーブローラの両端を仕切る一対の隔壁と、前記オイルパンに形成され、前記グルーブローラの一端側から他端側に配管又は配線されるパイプ又はケーブルが収納されるダクトと、を備えたことを特徴とするワイヤソー。

IPC (3件)：

B24B 27/06 ,  B24B 55/02 ,  B28D 5/04

FI (3件)：

B24B 27/06 D ,  B24B 55/02 D ,  B28D 5/04 C

Fターム (22件)：

3C047GG00 ,  3C047GG05 ,  3C047HH03 ,  3C058AA05 ,  3C058AA09 ,  3C058AA18 ,  3C058AB08 ,  3C058AC01 ,  3C058AC04 ,  3C058CA01 ,  3C058CB04 ,  3C058CB06 ,  3C058CB09 ,  3C058DA03 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB01 ,  3C069CA04 ,  3C069DA01 ,  3C069DA05 ,  3C069DA06 ,  3C069EA02