特許

J-GLOBAL ID：200903016669467973

ラッピング装置用ラップ治具

発明者： 星 悟 ,  濱川 雅之
出願人/特許権者： リードライト・エスエムアイ株式会社
代理人 (1件)： 梅田 明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-352390
公開番号（公開出願番号）：特開平9-183062
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】 従来のラッピング装置全体に大幅な変更を加えることなく簡単な構成をもってラッピング時のウエハ表面例えば10Å以下の高い面粗度に安定して加工することが可能なラッピング装置用ラップ治具を提供する。【解決手段】 ウエハよりも薄い環状をなしかつその内周がウエハの輪郭形状に沿う形状をなすウエハキャリヤと、クロス材質のバッキングプレートとを感圧接着し、このバッキングプレートの反対側の面に荷重部材を搭載するための荷重ベース部材を接着してなるラップ治具をラッピング装置に用いる。【効果】 ラッピングプレート及びその上に載せるクロス上から従来のセラミックガイドリングを排除したことによって、ウエハの外側に閉じた空間が形成されないので、砥粒がラッピング加工中にラップ治具内部に入り込んだり溜まったりし、加工後の洗浄過程でウエハ表面にスクラッチを生じる虞がない。

請求項（抜粋）：

被加工物の表面をラッピング加工する際に、該被加工物をラッププレート上で保持するためのラップ治具であって、前記被加工物よりも薄い環状をなし、かつその内周が前記被加工物の輪郭形状に沿う形状をなすキャリヤと、前記キャリヤの一方の面に感圧接着される軟質のバッキングプレートと、前記バッキングプレートの前記キャリアと反対側の面に接着され、荷重部材を搭載するための荷重ベース部材とを有し、前記キャリヤを前記被加工物に環装することにより前記被加工物を所定の荷重で加圧しつつ前記ラッププレート上に保持するようにしたことを特徴とするラッピング装置用ラップ治具。