特許

J-GLOBAL ID：200903016670648000

ITO焼結体の製造方法

発明者： 山本 和明 ,  小川 展弘 ,  毛利 隆
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-336161
公開番号（公開出願番号）：特開平6-183731
出願日： 1992年12月16日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：

【要約】【目的】【構成】 BET表面積が3m2/g未満の酸化錫粉末と、酸化インジウム粉末とを混合、成形、焼結してなるITO焼結体の製造方法。【効果】 常圧焼結で焼結密度6.5g/cm3以上の高密度ITO焼結体を製造することが可能であり、この焼結体をスパッタリングターゲット材として使用すれば優れたスパッタリング特性を有するものとなる。

請求項（抜粋）：

BET表面積が3m2/g未満の酸化錫粉末と、酸化インジウム粉末とを混合、成形、焼結することを特徴とするITO焼結体の製造方法。

IPC (2件)：

C01G 15/00 ,  C04B 35/00