特許

J-GLOBAL ID：200903016670806056

高周波キャリア型磁気センサ

発明者： 大槻 隆
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-342010
公開番号（公開出願番号）：特開2001-159667
出願日： 1999年12月01日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：

【要約】【課題】 小型且つ薄型で外部磁場と磁気検出方向との角度に依らずに適確に磁気検出できる上、容易にオフセット調整でき、しかも安定して固定磁気バイアスを印加し得る省電力化が可能な高周波キャリア型磁気センサを提供すること。【解決手段】 この磁気センサの検出回路は、同一なガラス基板上の一方の面にCo系アモルファスにより所定の間隔を有して同一直線上に形成された一対の磁性コア1,2と、Ti,Cu,及びCrの少なくとも1種により磁性コア1,2を挟んでそれぞれ隣接する位置に互いに平行に形成された一対の非磁性抵抗片3,4と、抵抗片3,4と同じ材料により抵抗片3,4の両端部と磁性コア1,2の両端部近傍との4箇所を電気的に接続するように形成された電極5,6,7,8とを含み、且つ検出回路に固定磁気バイアスを印加するための固定磁気バイアス用硬質磁性膜30,31を検出回路を挟んで並設している。

請求項（抜粋）：

薄膜工程により同一な非磁性基板上に形成される検出回路の磁性体に高周波電圧を印加した際に生ずる表皮効果の表皮深さが外部磁場に対して変化することにより該磁性体のインピーダンスが変動する原理を利用した高周波キャリア型磁気センサにおいて、前記検出回路は、所定の間隔を有して互いにほぼ同一直線上に配設された前記磁性体としての一対の磁性コアと、前記一対の磁性コアを挟んでそれぞれ隣接する位置に互いに平行に配設された一対の非磁性抵抗片と、前記一対の非磁性抵抗片の両端部と前記一対の磁性コアの両端部近傍との4箇所を電気的に接続して配設された電極とを含むことを特徴とする高周波キャリア型磁気センサ。

Fターム (8件)：

2G017AB09 ,  2G017AC09 ,  2G017AD51 ,  2G017AD56 ,  2G017AD63 ,  2G017AD65 ,  2G017BA09 ,  2G017BA10