ガス放電に基づいて極紫外線を発生する装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤武久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-297520
公開番号（公開出願番号）：特開2003-218025
出願日： 2002年10月10日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：

【要約】【課題】密で高温のプラズマ柱を安定して発生すると共に、システムの寿命が長い、極紫外線を発生する新しい装置を提供する。【解決手段】ガス放電に基づいて極紫外線を発生するための装置において、第1の電極ケース1の内部に予備電離ユニット5が同軸に配置され、この予備電離ユニットが軸方向において互いに離れている、平行でほぼ平らな2個の平面電極52を備え、この平面電極がほぼ円環状であり、この平面電極の間に、少なくとも1本の給電線を内蔵する円筒状絶縁体51が配置され、それによって充分に高い電圧を平面電極52にかける際に、円筒状絶縁体51の外周面に沿って滑り放電61が発生し、第1の電極ケース1が第2の電極ケース2の方に狭められた出口12を備え、第2の電極ケース2の円筒面21が、少なくとも第1の電極ケース1の狭められた出口12のすぐ近くにおいて、管状の絶縁体22によって覆われている。

請求項（抜粋）：

放電室が第1の電極ケースと第2の電極ケースによって取り囲まれ、所定の圧力下の作動ガスが放電室を流通し、両電極ケースが互いに同軸に配置され、放電室の方にそれぞれ円筒面を備え、そして絶縁層によって絶縁破壊されないように互いに分離され、極紫外線用の排出口が第2の電極ケース内に軸方向に設けられている、ガス放電に基づいて極紫外線を発生するための装置において、第1の電極ケース(1)の内部に予備電離ユニット(5)が同軸に配置され、この予備電離ユニットが軸方向において互いに離れている、平行でほぼ平らな2個の平面電極(52)を備え、この平面電極(52)がほぼ円環状であり、この平面電極の間に、少なくとも1本の給電線を内蔵する円筒状絶縁体(51)が配置され、それによって充分に高い電圧を平面電極(52)にかける際に、円筒状絶縁体(51)の外周面に沿って滑り放電(61)が発生し、第1の電極ケース(1)が第2の電極ケース(2)の方に狭められた出口(12)を備え、第2の電極ケース(2)の円筒面(21)が、少なくとも第1の電極ケース(1)の狭められた出口(12)のすぐ近くにおいて、管状の絶縁体(22)によって覆われていることを特徴とする装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 503 , G21K 5/00 , G21K 5/02 , H05G 2/00 , H05H 1/24

FI (7件)：

G03F 7/20 503 , G21K 5/00 Z , G21K 5/02 X , H05H 1/24 , H01L 21/30 531 S , H01L 21/30 502 D , H05G 1/00 K

Fターム (9件)：

2H097CA01 , 2H097CA15 , 2H097LA10 , 4C092AA07 , 4C092AA14 , 4C092AB19 , 4C092AC09 , 5F046BA10 , 5F046GC03

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許第5,763,930号明細書
米国特許第5,504,795号明細書

審査官引用 (1件)

特開平1-296596

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