特許

J-GLOBAL ID：200903016676232680

太陽電池の製造方法

発明者： 梶原 慶 ,  三宮 仁
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-071698
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260704
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 従来、太陽電池素子毎に分離し、集積する方法として、レーザでスクライブする方法が用いられてきた。しかし、この方法では、スクライブの加工時間が掛かり、また加工装置も大型で、高価なものが要求される。従って、太陽電池のコストアップの要因となっていた。そこで、本発明は、低コストでしかも高速に加工できる方法を用いた太陽電池の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明に係る太陽電池の製造方法は、太陽電池素子に分離するスクライブラインを形成するのに、スクライブラインとなる領域を開口部とするように導電膜をマスクし、前記マスクの上から砥粒を吹き付けて、前記スクライブラインを挟む前記導電膜の間の絶縁分離がなされるまで前記開口部の導電膜を削り取る方法で行うことを特徴とする。本発明によって、スクライブを行う装置の低コスト化、小型化が図れ、またスクライブラインを作製する時間が短縮できるので、太陽電池の生産の低コスト化に寄与する。

請求項（抜粋）：

複数の太陽電池素子を電気的に直列接続させた太陽電池の製造方法において、スクライブラインとなる領域を開口部とするように導電膜をマスクし、前記マスクの上から砥粒を吹き付けて、前記スクライブラインを挟む前記導電膜の間の絶縁分離がなされるまで前記開口部の導電膜を削り取ることで、前記スクライブラインを形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 31/04 ,  H01L 21/301 ,  H01L 31/042

FI (5件)：

H01L 31/04 S ,  H01L 21/78 L ,  H01L 31/04 H ,  H01L 31/04 M ,  H01L 31/04 C