特許
J-GLOBAL ID:200903016679606912

光学系の光学性能を測定する装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤元 亮輔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-298194
公開番号(公開出願番号):特開2004-132858
出願日: 2002年10月11日
公開日(公表日): 2004年04月30日
要約:
【課題】省スペース化、迅速な測定、並びに、コストダウンを実現する光学系(即ち、被検レンズ)のMTFを測定する装置及び方法を提供する。【解決手段】対象光学系のMTFを含む光学性能を測定する装置であって、前記対象光学系の前記光学性能を測定するのに使用されると共に前記対象光学系が組み込み可能な測定用光学系及び前記対象光学系を、設定される測定条件に基づいて調整可能な機構手段と、前記機構手段による調整量を計測する計測手段と、前記対象光学系の前記光学性能を算出し、かつ、出力する演算出力手段と、測定されるべき前記光学性能と、前記測定条件を設定すると共に、前記機構手段、前記計測手段及び前記演算出力手段を自動制御する制御手段とを有することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
対象光学系のMTFを含む光学性能を測定する装置であって、 前記対象光学系の前記光学性能を測定するのに使用されると共に前記対象光学系が組み込み可能な測定用光学系及び前記対象光学系を、設定される測定条件に基づいて調整可能な機構手段と、 前記機構手段による調整量を計測する計測手段と、 前記対象光学系の前記光学性能を算出し、かつ、出力する演算出力手段と、 測定されるべき前記光学性能と、前記測定条件を設定すると共に、前記機構手段、前記計測手段及び前記演算出力手段を自動制御する制御手段とを有することを特徴とする測定装置。
IPC (1件):
G01M11/02
FI (1件):
G01M11/02 A

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