特許
J-GLOBAL ID:200903016684678336

複合構造の製造の際に、欠陥ならびに異物および破片を識別するためのシステムおよび方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-207524
公開番号(公開出願番号):特開2005-049344
出願日: 2004年07月14日
公開日(公表日): 2005年02月24日
要約:
【課題】 複合構造の製造の際に、異物および破片(FOD)ならびに欠陥を識別するためのシステムおよび方法を提供する。【解決手段】 このシステムは、明視野照明で複合構造の一部を照明し、また暗視野照明で複合構造の別の部分を照明する光を発するように位置付けられた、少なくとも1つの光源を含む。明視野照明は、複合構造における欠陥によって、複合構造のうち欠陥のない部分とは異なるように反射される。暗視野照明は、複合構造上のFODによって、複合構造のうちFODがない表面とは異なるように反射される。このシステムはまた、複合構造の照明された部分の画像を受信するための少なくとも1つのカメラを含む。カメラによって受信された画像は、処理装置によって処理され得、この処理装置は次に画像に基づいて、欠陥ならびに異物および破片を識別する応答を出力する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複合構造の製造の際に、欠陥ならびに異物および破片を識別するためのシステムであって、 明視野照明で複合構造のある部分を照明し、かつ暗視野照明で複合構造の別の部分を照明するための光を発するように位置付けられた少なくとも1つの光源を含み、明視野照明は、複合構造における欠陥によって、複合構造のうち欠陥のない部分とは異なるように反射され、暗視野照明は、複合構造上の異物および破片によって、複合構造のうち異物および破片を有さない表面とは異なるように反射され、前記システムはさらに、 複合構造のうち照明された部分の画像を受信するための少なくとも1つのカメラを含む、システム。
IPC (2件):
G01N21/892 ,  G01N21/898
FI (2件):
G01N21/892 A ,  G01N21/898 A
Fターム (9件):
2G051AA40 ,  2G051AB02 ,  2G051BB01 ,  2G051BB05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB03 ,  2G051CC07 ,  2G051DA06 ,  2G051DA15
引用特許:
審査官引用 (11件)
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