特許

J-GLOBAL ID：200903016685987316

石英ガラス管の製造方法

発明者： 崎久保 邦彦 ,  佐々木 泰実
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-116420
公開番号（公開出願番号）：特開平9-301726
出願日： 1996年05月10日
公開日（公表日）： 1997年11月25日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、少なくとも内層が高純度で、かつほぼ無気泡の透明石英ガラスで、しかもその外層が所定の気泡を含有する不透明石英ガラスからなり、炉芯管内の被処理物に対する均熱性が良好で、かつ高熱伝導性石英ガラス管を高率よく得ようとするものである。【構成】 この発明は、回転可能な管状型12内に中子を挿入し、管状型12を回転しながら管状型12と中子の中間に石英粉末を供給して管状型内周に石英粉末管状体を形成し、この粉末管状体を内側から加熱して溶融ないし半溶融し、その後これを冷却してから取出すことからなる石英ガラス管の製造方法において、石英粉末管状体の加熱溶融開始とともに、この粉末管状体の外側から内側に水素ガス及び/又はヘリウムガスを所定時間吹き込んでから停止し、その後管状型内を低減してさらにこの粉末管状体の内側から加熱して溶融することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

長手方向軸を中心とし回転可能な管状型内に、管状型を回転しながらその内周に石英粉末管状体を形成し、この粉末管状体を内側から加熱して溶融ないし半溶融し、その後これを冷却してから取出すことからなる石英ガラス管の製造方法において、石英粉末管状体の加熱溶融開始とともに、この粉末管状体の外側から内側に水素ガス及び/又はヘリウムガスを所定時間吹き込んでからガス供給を停止し、その後管状型内を減圧し、さらにこの粉末管状体の内側から加熱して溶融することを特徴とする石英ガラス管の製造方法。

IPC (4件)：

C03B 19/09 ,  C03B 19/04 ,  C03B 20/00 ,  H01L 21/22 501

FI (4件)：

C03B 19/09 ,  C03B 19/04 ,  C03B 20/00 ,  H01L 21/22 501 M