特許

J-GLOBAL ID：200903016686265861

基板搬送装置

発明者： 花崎 哲嗣 ,  白数 廣
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-045561
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239855
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】 基板搬送装置において、基板を受け渡す際のずれ量を少なくして、基板ステージにおけるファインアライメントの時間を短縮する。【解決手段】 マスクライブラリ11から搬送アーム12によりマスクMをマスク待機部13へ搬送する。マスク待機部13においては、プリアライメント部13a〜13iにより、マスクMの基準位置からのずれ量が検出される。交換アーム14がマスク待機部13からマスクステージMSへマスクMをローディングする。マスクステージMSはプリアライメント部13a〜13iにより検出されたずれ量分移動して、マスクMの基準位置からのずれ量を補正する。

請求項（抜粋）：

基板を処理する基板ステージと、複数の基板を保管する基板保管手段と、前記基板を一時的に保管する一時保管手段と、前記基板保管手段から前記基板を取り出して、前記一時保管手段へ搬送する第1の搬送手段と、前記一時保管手段に一時的に保管された前記基板を前記基板ステージへ搬送する第2の搬送手段とを備えた基板搬送装置において、前記一時保管手段は、前記基板のプリアライメントのためのプリアライメント機構を備えたことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 503 D