特許
J-GLOBAL ID:200903016690156147
検査用マスタブロック及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
秋田 修 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-028999
公開番号(公開出願番号):特開2001-311618
出願日: 2001年02月06日
公開日(公表日): 2001年11月09日
要約:
【要約】【課題】 周囲の温度変化による影響を極力除去して高い検査精度が得られるととができる、検査用マスタブロック及びその製造方法を提供する。【解決手段】 少なくとも上面と4つの側面が石英ガラスまたは単結晶石英の矩形板10、11、12からなる中空直方体状のブロック本体1Aの上面と側面に複数の取付孔13が形成されており、これらの取付孔13にそれぞれ測定機のプローブ先端を接触させる基準測定面を有する複数の基準部材9を嵌挿固定している。
請求項(抜粋):
少なくとも上面と4つの側面が石英ガラスまたは単結晶石英の矩形板で構成されている中空直方体状のブロック本体と、前記ブロック本体の上面と側面に形成された複数の取付孔にそれぞれ嵌挿固定され、測定機のプローブ先端を接触させる基準測定面を有する複数の基準部材とを備えたことを特徴とする検査用マスタブロック。
IPC (4件):
G01B 21/00
, G01B 1/00 101
, G01B 5/00
, G01B 21/20 101
FI (4件):
G01B 21/00 E
, G01B 1/00 101 A
, G01B 5/00 P
, G01B 21/20 101
Fターム (22件):
2F062AA04
, 2F062CC03
, 2F062DD23
, 2F062EE01
, 2F062GG24
, 2F062HH01
, 2F062HH04
, 2F069AA04
, 2F069AA98
, 2F069BB40
, 2F069DD19
, 2F069FF07
, 2F069GG01
, 2F069GG12
, 2F069GG14
, 2F069GG52
, 2F069HH01
, 2F069HH02
, 2F069JJ08
, 2F069PP01
, 2F069RR03
, 2F069RR05
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