特許

J-GLOBAL ID：200903016692309960

現像方法及びウエハ揺動装置

発明者： 関口 敦
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-036520
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236421
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】 ウエハ面内の現像性を均一に保つことができる現像方法及びウエハ揺動装置を提供する。【構成】 ウエハ10の表面10a上の全域に現像液11を供給する。現像液11をウエハ10の表面10a上に保ちながら、ウエハ10を揺動させる。この際、ウエハ10を傾けることによって最も低くなる高さ位置hにウエハ10の周縁上の各点が順次移動するようにウエハ10を揺動させる。これによって、ウエハ10の表面10a上の全域で現像液11を移動させ、現像液の温度と現像液中の反応生成物濃度との分布を一定に保つ。

請求項（抜粋）：

ウエハ表面のレジスト膜を現像する方法であって、ウエハ表面の全域に現像液を供給する工程と、前記現像液を前記ウエハの表面上に保ちながら、当該ウエハを揺動させる工程とを行うことを特徴とする現像方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 569 F ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/68 N