特許
J-GLOBAL ID：200903016699303878
感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西川 繁明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-090242
公開番号（公開出願番号）：特開平9-258439
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 感度、解像性などに優れ、解像時のパターン形状が良好(シャープ)なポリイミド系の感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)化学線官能基を両末端に有するポリアミック酸化合物、(B)分子内に光反応性を有する不飽和結合とアミノ基またはその4級塩類とを有する化合物を前記ポリアミック酸化合物のカルボキシル基に対して1〜50モル%、(C)光重合性官能基を有する感光助剤、(D)光重合開始剤、及び(E)溶剤を含有する感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)式(1)で表される基Z1及び式(2)で表される基Z2からなる群より選ばれる少なくとも一種の化学線官能基を両末端に有するポリアミック酸化合物、【化1】(式中、Xは、単結合、-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-OCOO-、-COCH2O-、-S-、-SO-、-SO2-または-SO2O-であり、R3、R4、R5、R6及びR7は、光重合可能な炭素-炭素二重結合を有する置換基であり、mは、0または1であり、nは、1〜3の整数である。)【化2】(式中、R3、R4、R5、R6及びR7は、光重合可能な炭素-炭素二重結合を有する置換基であり、mは、0または1である。)(B)分子内に光反応性を有する不飽和結合とアミノ基またはその4級塩類とを有する化合物を前記ポリアミック酸化合物のカルボキシル基に対して1〜50モル%、(C)光重合性官能基を有する感光助剤、(D)光重合開始剤、及び(E)溶剤を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/027 514
, G03F 7/027 502
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/038 504
, H01L 21/027
, H01L 21/312
G03F 7/027 514
, G03F 7/027 502
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/038 504
, H01L 21/312 B
, H01L 21/30 502 R
