特許
J-GLOBAL ID：200903016705248418
付着防止静電チャック
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 澄夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-322218
公開番号（公開出願番号）：特開平5-245734
出願日： 1992年11月09日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】ワークピースを低圧環境内で保持するための静電チャック。【構成】このチャックは電界Vの適用に応答して自由運動する極性分子を含まない材料から製作される。そのため付勢電源Vを除去したのちにワークピースがチャック4に付着する問題が解消される。熱が用いられる用途では、誘電体8が多数ピン22を介して金属伝熱体23に結合され、金属23と誘電体8との熱膨張係数の差で起こる動きに応じてピンは自由に撓曲できる。チャック4は好適に2枚の実質的に平坦な誘電体30,33で溶着(ろう付け)化合物をサンドイッチし、加熱し冷却して溶着化合物を電極とすることにより形成され得る。
請求項（抜粋）：
低圧環境内で導電性ワークピースをチャック上に保持するための静電チャックであって、ワークピースを支持するための誘電性基質と、該基質に埋設された少なくとも1つの導電性電極と、各電極に接続された電圧源とから成り、前記誘電性基質が電圧源の付勢に応答して自由に運動する極性分子を含まない材料から製作されている、付着防止静電チャック。
IPC (3件)：
B23Q 3/15
, H01L 21/68
, H02N 13/00
