薄膜形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-355384
公開番号（公開出願番号）：特開平5-146748
出願日： 1991年11月26日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】【目的】プラスチックシートやプラスチック成形体の表面を無機薄膜で被覆するための薄膜形成方法。【構成】本発明は高温処理を適用できないプラスチックシート等の表面に無機薄膜層を形成するために処理の低温化に優れた触媒を用いてゾル・ゲル法を実施することを特徴とする。通常のゾル・ゲル法による無機化合物溶液に触媒として有機金属化合物等を加え、この溶液を対象のプラスチックに塗布する。

請求項（抜粋）：

金属化合物を主成分とする溶液を有機あるいは無機材料の表面に塗布し、乾燥、および加熱することにより金属酸化物薄膜を形成する方法であって、該溶液が触媒を含むことを特徴とする薄膜形成方法。

IPC (6件)：

B05D 7/04 , B05D 3/02 , B05D 5/00 , B05D 5/12 , B05D 7/24 303 , B05D 7/24

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