特許

J-GLOBAL ID：200903016708391343

新規重合体

発明者： 浦野 文良 ,  藤江 啓利 ,  大野 桂二 ,  根岸 孝明
出願人/特許権者： 和光純薬工業株式会社 ,  松下電器産業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-331953
公開番号（公開出願番号）：特開平11-286523
出願日： 1992年06月08日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】紫外線等に対し高い解像性能を有し、露光から加熱処理迄の時間経過に対して安定したパターン寸法の維持が可能な、クォーターミクロンオーダーの微細なパターンが容易に得られるレジスト材料を調製するために有用な重合体の提供。【解決手段】一般式[I][式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2及びR3は夫々独立して水素原子又は炭素数1〜6の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基、又、R2とR3で炭素数2〜5のメチレン鎖を形成していても良く、R4は炭素数1〜10の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基等、R5は水素原子又はシアノ基、R6は水素原子又はメチル基、R7は水素原子、シアノ基又は-COOYを表し、又、R5とR7は互いに結合して-CO-O-CO-となっていても良く、kとlは夫々独立して自然数、mは0又は自然数を表す。]で示される重合体。

請求項（抜粋）：

一般式[I]【化1】[式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2及びR3は夫々独立して水素原子又は炭素数1〜6の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基を表し(但し、R2及びR3が共に水素原子の場合は除く。)、又、R2とR3で炭素数2〜5のメチレン鎖を形成していても良く、R4は炭素数1〜10の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基、炭素数1〜6の直鎖状、分枝状又は環状のハロアルキル基、又はアラルキル基を表し、R5は水素原子又はシアノ基を表し、R6は水素原子又はメチル基を表し、R7は水素原子、シアノ基又は-COOY(但し、Yは炭素数1〜6の直鎖状、分枝状又は環状のアルキル基を表す。)を表し、又、R5とR7は互いに結合して-CO-O-CO-となっていても良く、kとlは夫々独立して自然数を表し{但し、0.1 ≦k/(k+l)≦ 0.9である。}、mは0又は自然数を表す(但し、mが自然数の場合、0.05≦m/(k+l+m)≦0.50である。)。]で示される重合体。

IPC (5件)：

C08F212/14 ,  G03F 7/039 601 ,  C08F222:06 ,  C08F220:18 ,  C08F226:02

FI (2件)：

C08F212/14 ,  G03F 7/039 601

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-019847
  
• 特開平2-161436
  
• 特開平4-219757
  
• 特開平3-282550