特許

J-GLOBAL ID：200903016715063432

画像の欠陥検出装置及びその欠陥検出方法

発明者： 石井 俊行
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 机 昌彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-151290
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098117
出願日： 1998年12月01日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】 良品のバラツキに影響されない高速で且つ高精度な画像の欠陥検出装置及びその欠陥検出方法を提供する。【解決手段】 被検査画像1をデジタル画像情報に変換するデータ変換手段2、デジタル画像情報を記憶する第1の記憶手段7、第1の記憶手段7に記憶されたデジタル画像情報を個別に記憶する第2の記憶手段8と第3の記憶手段9、第2の記憶手段8に記憶されたデジタル画像情報に、膨張フィルター処理を実行する第1の処理手段10、第1の処理手段10により得られたデジタル画像情報に収縮フィルター処理を実行する第2の処理手段11、第3の記憶手段9に記憶されたデジタル画像情報に、収縮フィルター処理を実行する第3の処理手段12、第3の処理手段12により得られたデジタル画像情報に膨張フィルター処理を実行する第4の処理手段13、第2の処理手段11及び第4の処理手段13により得られたデジタル画像情報の差分値を演算する第5の処理手段とから構成されている画像の欠陥検出装置30。

請求項（抜粋）：

被検査対象から被検査画像情報を作成する手段と、前記被検査画像情報に対して、膨張フィルターと収縮フィルターとをこの順に順次適用して画像処理する第1画像処理手段と、前記被検査画像情報に対して、収縮フィルターと膨張フィルターとをこの順に順次適用して画像処理する第2画像処理手段と、前記第1の画像処理手段と前記第2の画像処理手段のそれぞれから出力される画像情報の差分値からなる画像情報を出力する画像情報出力手段とを具備し、前記膨張フィルターと収縮フィルターは、何れも輝度情報を取り扱う複数の画素がマトリクス状に配列された空間フィルタで構成されると共に、前記空間フィルターの中心画素部を検査画素とし、且つ前記検査画素を中心とする他の画素を近傍画素となし、前記膨張フィルターは、当該フィルターの検査画素の輝度データを、前記検査画素の輝度データ及び前記近傍画素の輝度データの内、最大の輝度データとする様に構成され、前記収縮フィルターは、当該フィルターの検査画素の輝度データを、前記検査画素の輝度データ及び前記近傍画素の輝度データの内、最小の輝度データとする様に構成されている事を特徴とする画像の欠陥検出装置。

IPC (6件)：

G01N 21/956 ,  G03F 1/08 ,  G06T 1/00 305 ,  G06T 7/00 200 ,  G06T 7/00 300 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G01N 21/956 A ,  G03F 1/08 S ,  G06T 1/00 305 A ,  G06T 7/00 200 A ,  G06T 7/00 300 F ,  H01L 21/30 502 P

Fターム (33件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EC06 ,  2G051ED08 ,  2G051ED14 ,  2H095BD04 ,  2H095BD24 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE06 ,  5B057CF01 ,  5B057CF02 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DC32 ,  5B057DC36 ,  5L096BA03 ,  5L096EA02 ,  5L096FA14 ,  5L096GA08 ,  5L096GA51 ,  5L096GA55 ,  5L096JA11

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特許第3344338号