特許

J-GLOBAL ID：200903016717593463

研磨用組成物および研磨方法

発明者： 久保 昌昭 ,  西川 康二 ,  丸山 伸二
出願人/特許権者： 株式会社フジミインコーポレーテッド
代理人 (1件)： 佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-077595
公開番号（公開出願番号）：特開平7-278527
出願日： 1994年04月15日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：

【要約】【目的】 研磨速度が向上し研磨面の品質も優れた研磨用組成物および研磨方法をうること。【構成】 水酸化アルミニウムを焼成して得られる板状アルミナ単結晶焼結体を粉砕、分級して得られる板状アルミナ単結晶粉体からなる市販の研磨用砥粒に、この研磨用砥粒と同様の方法で別途分級調整され、平均粒径が前記研磨用砥粒の平均粒径の1.3倍〜2.3倍の範囲の板状アルミナ単結晶粉体を添加したもの。

請求項（抜粋）：

(a)水酸化アルミニウムを焼成して得られる板状アルミナ単結晶焼結体を粉砕・分級して得られる板状アルミナ単結晶粉体からなる市販の研磨用砥粒に、(b)上記(a)と同様の方法で別途分級調整された板状アルミナ単結晶粉体であって、平均粒径が(a)の平均粒径の1.3倍〜2.3倍の範囲のものを添加してなる研磨用組成物。

IPC (2件)：

C09K 3/14 550 ,  B24D 3/00 320

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平1-304174
  
• 特開平1-109082
  
• 特開平1-306181
  
• 特開昭55-071697
  

審査官引用 (4件)

• 特開平1-304174
  
• 特開平1-109082
  
• 特開平1-306181
  
• 特開昭55-071697