レーザ照射システム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-015522
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232487
出願日： 1993年02月02日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】本発明は、吸引ガスを吸引する機能を妨げる異常を検知してアシストガスの供給を自動的に停止し、さらに、その異常原因を自動的に排除するレーザ照射システムを提供することを目的とする。【構成】コントローラ60は、圧力センサ32、42および流量センサ33、43からの出力電圧信号を受信する入力処理部61と、圧力センサ32、42の出力差と流量センサ33、43の出力差を演算する演算処理部62と、それらの出力差に基づいてビームシャッタ12およびソレノイドバルブ31、41、51それぞれの開閉操作を決定する制御処理部63と、それらの出力電圧信号をビームシャッタ12およびソレノイドバルブ31、41、51に送信し、必要ならば警告音を発する出力処理部64とから構成されている。押出ガス50の流路を開閉するソレノイドバルブ51が開栓されると、押出ガス50は図示しないタンクから押出ガス導入管52に導かれ、押出ガス50の圧力を測定する圧力センサ42を経由し、フィルタ47と流量センサ43の間に介在位置する吸引ガス導出管45に伝送される。

請求項（抜粋）：

レーザビームを下部先端に位置する照射口から被切開物の被照射部位に照射する筒体と、この筒体の上部に位置する供給口から該筒体の内部にアシストガスを供給する供給手段と、この筒体の下部に位置する吸引口から該筒体の内部における前記アシストガスおよび前記レーザビームの前記被照射部位への照射時に該被照射部位から発生する飛散物を該被照射部位周辺の空気と共に吸引ガスとして吸引する除去手段とを備えるレーザ照射システムにおいて、前記吸引口から前記筒体の外部に流れる前記吸引ガスの圧力および流量を監視する監視手段と、この監視手段の出力を基準出力と比較する比較手段と、この比較手段の出力に基づいて前記供給手段および前記除去手段の動作を制御する制御回路を有する制御手段とを備え、前記飛散物が前記吸引口を閉塞したことを検知して前記供給手段および前記除去手段の動作を停止することを特徴とするレーザ照射システム。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭57-168655
特開昭61-263444

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