特許
J-GLOBAL ID：200903016723900289
周波数分解センサ及びこのセンサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315816
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133318
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】測定精度の向上及び製造の容易化を図る。【解決手段】振動源11に応動して振動を発生する振動源入力部14と、この振動源入力部からの振動を一方向に伝搬する振動伝搬部15と、この振動伝搬部から延出してその端部を自由端とし、かつ振動伝搬部の振動伝搬方向に複数配設した、それぞれ異なる固有共振周波数を有する複数の振動子26と、この各振動子に形成した可動電極27及びこの可動電極に対向配置しアンカー部28に形成した固定電極29の対からなる複数の静電容量検出部とを設け、振動伝搬部に振動が伝搬したとき各振動子は配列方向に振動し、この振動による各静電容量検出部の静電容量検出出力によって周波数成分を検出する。
請求項（抜粋）：
振動源に応動して振動を発生する振動源入力部と、この振動源入力部からの振動を一方向に伝搬する振動伝搬部と、この振動伝搬部から延出してその端部を自由端とし、かつこの振動伝搬部の振動伝搬方向に複数配設した、それぞれ異なる固有共振周波数を有する複数の振動子と、この各振動子に形成した可動電極及びこの可動電極に対向配置し固定部に形成した固定電極からなる複数の静電容量検出部とを設け、前記振動伝搬部に振動が伝搬したとき前記各振動子は配列方向に振動し、この振動による前記各静電容量検出部の静電容量検出出力によって周波数成分を検出することを特徴とする周波数分解センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
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