特許

J-GLOBAL ID：200903016724011399

液晶表示装置の配向膜製造方法及びこれに用いる配向膜エッチング装置

発明者： 神谷 洋之 ,  盧 淳 俊 ,  全 柏 均
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人共生国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-058531
公開番号（公開出願番号）：特開2006-243739
出願日： 2006年03月03日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：

【課題】簡単で正確な位置で配向膜をパターニングできる液晶表示装置の配向膜製造方法及びこれに用いる配向膜エッチング装置を提供する。【解決手段】共通電極に電圧を印加するトランスファ電極に対応する電極パッドを備える基板上に配向膜を形成する段階と、前記電極パッドを露出させるようにマスクパターンを用いずに前記配向膜をエッチングする段階とを有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

共通電極に電圧を印加するトランスファ電極に対応する電極パッドを備える基板上に配向膜を形成する段階と、 前記電極パッドを露出させるようにマスクパターンを用いずに前記配向膜をエッチングする段階とを有することを特徴とする液晶表示装置の配向膜製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/133 ,  G02F 1/13

FI (2件)：

G02F1/1337 ,  G02F1/13 101

Fターム (19件)：

2H088FA18 ,  2H088FA19 ,  2H088FA23 ,  2H088FA25 ,  2H088FA30 ,  2H088HA02 ,  2H088HA03 ,  2H088HA08 ,  2H088HA12 ,  2H088MA20 ,  2H090HB02Y ,  2H090HB03Y ,  2H090HB04Y ,  2H090HB06Y ,  2H090HC01 ,  2H090HC12 ,  2H090LA01 ,  2H090LA04 ,  2H090LA15

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許第6682786号明細書
  
• 韓国公開特許第2004-0044675号明細書