特許
J-GLOBAL ID：200903016725407954
潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
富田 和夫
, 鴨井 久太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-146397
公開番号（公開出願番号）：特開2005-238436
出願日： 2004年05月17日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：
【課題】 潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、マグネトロンスパッタリング装置にて、カソード電極(蒸発源)としてTiターゲットを用い、特殊ガス反応雰囲気で磁場中成膜された、窒化チタン層および炭窒化チタン層の密着接合層を介して、同一装置にて、カソード電極(蒸発源)として、炭化タングステンターゲットとTiターゲットを用い、特殊ガス反応雰囲気で磁場中成膜され、オージェ分光分析装置で測定して、W:5〜20原子%、Ti:5〜20原子%、窒素:0.5〜18原子%、を含有し、残りが炭素と不可避不純物からなる組成を有すると共に、炭素系非晶質体の素地に、結晶質炭窒化チタン系化合物の微粒が分散分布した組織を示す潤滑性非晶質炭素系被膜を蒸着形成してなる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
(a)炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン系サーメットからなる超硬基体の表面に、
(b)マグネトロンスパッタリング装置にて、カソード電極(蒸発源)としてTiターゲットを用い、窒素とArの混合ガス、または炭化水素の分解ガスと窒素とArの混合ガスからなる反応雰囲気で磁場中成膜された、窒化チタン層および炭窒化チタン層のいずれか、または両方からなり、かつ0.1〜3μmの平均層厚を有する密着接合層を介して、
(c)マグネトロンスパッタリング装置にて、カソード電極(蒸発源)として、炭化タングステンターゲットとTiターゲットを用い、炭化水素の分解ガスと窒素とArの混合ガスからなる反応雰囲気で磁場中成膜され、オージェ分光分析装置で測定して、
W:5〜20原子%、
Ti:5〜20原子%、
窒素:0.5〜18原子%、
を含有し、残りが炭素と不可避不純物からなる組成を有すると共に、透過型電子顕微鏡による観察で、炭素系非晶質体の素地に、結晶質炭窒化チタン系化合物の微粒が分散分布した組織を示し、かつ1〜13μmの平均層厚を有する潤滑性非晶質炭素系被膜を蒸着形成してなる、潤滑性非晶質炭素系被膜がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具。
IPC (5件)：
B23B27/14
, B23B51/00
, B23C5/16
, B23P15/28
, C23C14/06
B23B27/14 A
, B23B51/00 J
, B23C5/16
, B23P15/28 A
, C23C14/06 P
3C037AA02
, 3C037CC02
, 3C037CC04
, 3C037CC09
, 3C037CC11
, 3C046FF09
, 3C046FF10
, 3C046FF16
, 3C046FF20
, 3C046FF25
, 4K029AA04
, 4K029BA34
, 4K029BA54
, 4K029BA60
, 4K029BB02
, 4K029BB10
, 4K029BC02
, 4K029BD05
, 4K029CA06
, 4K029EA01
