特許

J-GLOBAL ID：200903016737691593

複数の記録位置を備えた電子顕微鏡

発明者： 及川哲夫
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-220374
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062630
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】 拡大率が高く分解能の高い狭視野画像と、拡大率が低く分解能の低い広視野画像とを一度に同時に撮影可能にする。【構成】 光軸上の複数の記録位置に配置した記録媒体のうち、最終記録面より前段側の記録媒体には中央部分に孔を開けて孔の周辺視野像を記録し、孔を通過した電子線像を次段以降の記録媒体に記録し、特に記録媒体としてダイナミックレンジの広い2次元センサを用いることにより、1回の撮影で拡大率が高く高分解能の狭視野画像と、拡大率が低く低分解能の広視野画像とを同時に撮影することが可能となる。

請求項（抜粋）：

光軸上の複数の記録位置に記録媒体を配置し、各記録媒体に拡大率の異なる電子線像を記録するようにした電子顕微鏡であって、最終記録面より前段側の記録媒体は中央部分に孔が開けられ、孔の周辺視野像が記録されるとともに、孔を通過した電子線像は次段以降の記録媒体に記録されるようにしたことを特徴とする複数の記録位置を備えた電子顕微鏡。【請求項1】 請求項1において、記録媒体の少なくとも1つは電子線エネルギを蓄積し、外部刺激により蓄積したエネルギの少なくとも一部を放出する2次元センサであることを特徴とする複数の記録位置を備えた電子顕微鏡。